第75章 超乎想象!
一百?
听到林渊轻描淡写吐出的这个数字,车间内所有人都呆愣住了。
按照半导体行业的规则,一台全新研发的原型机,做批量一致性检测,能连续跑通十片晶圆不出错,就足以向全世界开香槟庆贺。
而敢在初次试车就测试二十片的,那已经是技术极度自信、甚至带着点赌徒心理的疯子了。
因为任何一丁点的机械冗余、温度偏差、或是光路微颤,都会在连续的高强度作业中被无限放大,最终导致晶圆报废!
可林渊开口,就是一百片。
这是什么概念?
这意味着,他要用最苛刻、最不留情面的方式,将这台刚刚诞生的国之重器,置于最严酷的炼狱中炙烤。
陈景山眯起眼,盯着林渊,声音沉稳。
“你确定?”
林渊站在操作台前,笑了笑,语气里是化不开的轻松。
“坐拥三大超越时代的完美核心技术,我对它,有信心。”
那声音云淡风轻,但那份写在骨子里的笃定,却让空气都变得粘稠起来。
陈景山深深看了他一眼,喉结滚动了一下,不再言语,只是缓缓、却重重地颔首。
一旁的周平,目光在林渊和那台线条冷峻的银灰色巨兽之间来回扫过,大脑一片空白。
这个年轻人,究竟是真的胸有成竹,还是?
魏建成几人对视一眼,眼神交汇的时候,都从对方眼中看到了同样的决绝,也不再多言。
很快,几个早已待命的研究员上前,动作又轻又快,从那个军绿色的运输箱中,一盒接一盒地捧出晶圆片盒。
不到五分钟,一百片8英寸、涂抹着昂贵光刻胶的空白晶圆,全部装填进进料舱。
林渊站在操控台前,指尖在屏幕上流畅划过,设定好批量作业程序。
最后,他抬起眼,目光掠过现场每一张紧张的脸。
他的指尖,悬停在启动键之上。
“开始。”
指尖,悍然按下!
“嗡——”
光刻机内部,传来一阵比之前更为深沉的运转声
超导加速腔全功率运转,EUV光源开始进行高频脉冲切割。
整个车间里,几十双通红的眼睛,一眨不眨地黏在大屏幕那片跳动的绿色数据上。
没有人说话。
甚至没有人敢大口呼吸。
时间,在这刻被无限拉长……
在所有人的注视中,整台光刻机没有丝毫的卡顿,没有任何一个红色的报错跳出,就那么稳定、高效、冷酷地运转着。
终于。
伴随着清脆的电子蜂鸣,操控台屏幕上弹出了“批量作业完成”的硕大绿色字样。
但,依旧没有人欢呼。
因为所有人都明白,真正的审判,还没有到来。
林渊转身,朝几个研究员抬了抬下巴。
“取片,送检。”
几个研究员猛然惊醒,赶忙上前,将那一百片承载着整个国家希望的晶圆,整齐地码放在专用托盘上。
随后,一行人浩浩荡荡地朝检测区走去。
扫描电镜检测区内。
几台高精度设备已经提前预热完毕。
林渊没有亲自动手,而是将这个任务交给了几个核心技术骨干。
“分组检测,每台设备负责二十五片,全部扫描完毕后,汇总数据。”
“是!”
检测,正式开始。
四块独立显示屏上,灰白色的电镜成像照片,一张接一张地弹出。
线条平直,边缘锐利,结构完美。
第一片,合格。
第五片,不合格。
第十片,合格!
随着晶圆的检测结果一个个出来,车间里的气氛非但没有放松,反而愈发紧绷。
时间好似被放慢了无数倍。
终于!
当第一百片晶圆的扫描结果弹出,一份由系统自动整合的批量检测报告,骤然占据了中央的主屏幕。
【批量检测完成】
【总数:100片】
【合格:91片】
【不合格:9片】
【合格率:91%】
车间里,是长达三秒的、死一般的寂静。
下一瞬。
“嗷——!!!”
“百分之九十一……我的天……”
“十纳米的工艺,初次跑一百片,良率百分之九十一!!”
“我们……我们成功了!!”
“成功了啊啊啊啊啊!!!”
整个车间,彻底失控!
压抑到极致的情绪,如积蓄无数年的火山骤然喷发,一下子便将理智的堤坝冲得粉碎!
魏建成仰头盯着屏幕上那个“91%”的数字,喉咙里滚了好几圈,最终憋出一句。
“这他娘的……这他娘的才是真正的国之重器啊!”
贺一诚推了推眼镜,镜片后的眼眶已经泛红。
杨林则是直接蹲在地上,双手捂着脸,肩膀剧烈地抽动着。
周平站在人群后方,看着这一幕,胸腔里翻涌着难以名状的激荡。
百分之九十一的良品率。
十纳米的工艺。
一百片的批量测试。
这三个数字叠加在一起,代表的是什么?
代表的是夏国光刻机,已经站在了全球半导体制造工艺金字塔的顶端!
周平深吸了一口气,压下胸腔中翻腾的巨浪,迈开脚步,穿过仍在激动庆祝的研究员,径直走向风暴中心的那个年轻人。
他走到林渊面前,停下。
看着眼前这个不过二十岁的青年,一时间竟不知该如何开口。
他来之前,设想过无数种“见证历史”的场景。
但他唯独没想过眼前这一幕。
“林渊同志。”
“本来以为,我想象中的结果已经够夸张了。”
他顿了一下,自嘲地笑了一声,摇了摇头。
“但现在看来,我还是格局小了。”
“这个历史见证得,比我想象中的任何一个版本,都要来得……疯狂!”
旁边的陈景山也走了过来,他看着林渊,脸上挂着抑制不住的笑意。
“周主任说得对,你小子,又一次把我们所有人的想象力,按在地上摩擦了一遍。”
林渊坦然接受了这份沉甸甸的赞誉,只是轻笑着点了点头。
“谢谢周主任,谢谢陈院长。”
他顿了一下,扫过车间里那些因为成功而相拥而泣的科研人员。
随后,他的视线重新落回到周平和陈景山身上,眼眸里流露出饶有意味的光芒。
“既然机器已经研发成功,性能也得到了验证。”
“那么,国外那些朋友送来的‘问候’……”
“我们是不是也该给一个正面回应了?”
……
当晚七点。
夏国最权威的新闻频道,准时响起片头曲。
画面切入,端庄肃穆的播报员,以激昂顿挫的语调,播报出了这条足以撼动世界的简讯。
“本台消息,夏国自主研发的第一台EUV光刻机,于今日上午,已通过全部测试……”
一休悦读(原:阅读宝)偷接口死m
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