第74章 绿得让人心安

单片晶圆试刻。

这六个字从林渊口中吐出的那一刻，总装车间里所有人的神经，一下子绷到了极致。

整机总装完成，空载联测跑了两个多小时零报错，这些固然振奋人心。

但在场的人都清楚，空载和实刻之间，隔着一道名为现实的天堑。

空载数据再完美，也只说明这台机器的骨架是好的，能动，能协同。

但光刻机的终极使命，是“刻”。

是把人类智慧凝结成的最精密图案，毫厘不差地蚀刻在那片脆弱的硅晶圆上。

刻不出来，一切归零。

林渊没有给任何人继续酝酿情绪的时间。

他转身，打开操作台旁一个银灰色的密封运输箱，用真空吸笔精准吸起一片8英寸的空白光刻晶圆。

硅片表面镀着一层均匀的光刻胶，在车间的冷白灯光下折射出淡淡的虹彩。

他托着晶圆，动作极稳，将其精准放入工件台的真空吸附卡盘上。

“嗒。”

一声轻响，吸附启动，晶圆被牢牢锁定。

随后，林渊的手指在操控终端上飞速敲击，没有丝毫犹豫，开始导入测试版图。

大屏幕上，一张密密麻麻的电路图案开始加载。

每一根线条的宽度和间距，都被控制在一个极其微小的尺度内，肉眼根本无法分辨其中的具体细节，只能看到一片规整的几何矩阵。

魏建成第一个凑了上来。

他盯着屏幕上那幅版图，瞳仁急剧收缩了一下。

“林总工。”

他的嗓音压得极低，粗重的呼吸在寂静的车间里，显得格外清晰。

“这套版图的线宽……是多少？”

他问出这句话时，贺一诚和杨林也下意识地向前一步，眼神凝重。

林渊头也未回，手指在操控台上完成最后的参数锁定，并淡然吐出三个字。

“十纳米。”

这句话，让在场的众人不禁呆愣住了。

十纳米！？

这根本不是一个简单的数字。

这代表的是当今全球半导体制造工艺金字塔最顶端的第一梯队。

放眼当今世界，能拿出10纳米精度测试版图的国家，一只手绰绰有余。

而这一只手里……没有夏国。

林渊没有给任何人继续震惊的余裕。

他最后确认了一遍所有参数，指尖悬在启动键上方一瞬，随即按了下去。

“启动。”

一声低沉的电子提示音响过。

整台光刻机的指示灯阵列，由待机的冷蓝同步切换为运行的暖白。

光源模块率先启动，超导加速腔内的低温循环系统发出极其细微的嗡鸣，EUV光束在密封光路中完成了第一次脉冲输出。

大屏幕上，各项实时参数同步跳动。

光源功率、曝光剂量、工件台位移精度、对准偏差值……

所有数据，稳如泰山，绿得让人心安。

整个过程，全自动运行。

没有任何调试卡顿，没有任何参数需要临时修正。

从光束引出到掩模版对准，从曝光窗口移动到工件台步进换场，每一个环节都衔接得天衣无缝。

车间里的所有人，都下意识地屏住了呼吸。

几十双眼睛，死死盯着大屏幕上那些稳定跳动的绿色数字。

三十秒。

一分钟。

两分钟。

整个试刻流程没有出现任何中断。

当最后一组曝光序列完成，操控台弹出“工作完成”的绿色提示时，车间里依然鸦雀无声。

没有人动。

因为所有人都明白，试刻完成，不等于成功。

真正的审判，在扫描电镜之下。

林渊启动真空释放，用真空吸笔将晶圆稳稳取下，转身走向车间东侧的扫描电镜检测区。

他的脚步不快不慢，背影沉稳。

身后，几十道滚烫的目光，紧紧追随着他。

他将晶圆送入样品仓，关闭密封舱门，启动高分辨扫描。

检测区的独立显示屏亮了起来。

几秒钟的加载后，第一张扫描电镜照片，被推送到了屏幕中央。

灰白色的成像画面中，纳米级的电路线条清晰地铺展开来。

线条均匀，边缘锐利，间距精准，没有半点毛刺，没有一处塌陷。

那些被放大到几万倍的微观结构，排列得整整齐齐，干净得近乎不真实，充满了颠覆性的工业美感。

“嘶——”

车间里，压抑的抽气声此起彼伏。

紧跟着，第二张、第三张照片接连弹出，系统自动标注的LWR数据、CDU数据、套刻精度数据，一行行跳出来。

全都是代表达标的绿色。

见状，车间里终于开始有了动静。

研究员们不由自主地长长吐出一口气，紧绷的身体松弛下来，脸上涌出难以自控的狂喜。

但没有人敢在这时放声庆祝。

临门一脚前的任何松懈，对于这群与精密工程搏斗了一生的科研人来说，都是大忌。

而在这片压抑的喜悦中，唯有一人，脸上没有丝毫波澜。

林渊站在检测台前，视线在屏幕最后一组数据上停留片刻，随即抬手，关掉了扫描程序。

“很好。”

他说了两个字，转过身，面向屏息等待的众人。

“单片精度验证，通过。”

话音刚落，研究员们脸上的喜色再也抑制不住，有人已经开始用力攥紧拳头，手臂微微颤抖。

紧接着，林渊抬手竖起一根食指，在半空中轻轻晃了晃。

“那么接下来，只差最后一步了。”

最后一步。

魏建成三人齐齐点头，脸上刚刚浮出的喜色收了几分，重新换上绷紧的专注。

单片试刻通过，只证明这台光刻机精度够，能刻，且刻得准。

但它的商用价值，从来不在于“能不能刻好一片”。

而在于，它能不能稳定地、持续地、一片接一片地刻下去，并保证每一片的质量，都和第一片别无二致。

这，叫做批量一致性检测。

是整机验收的最后一关，也是最残酷的一关。

只有这一关跑通了，国产光刻机，才算真正意义上的，研发成功！

所有人都明白这个道理，无需多言。

就在众人准备迎接最后冲刺时，林渊已经重新走回了操作台。

他弯下腰，从台面下方拖出一个此前无人注意的军绿色大号密封运输箱，体积比刚才那个，足足大了三四倍。

“咔哒。”

锁扣弹开，箱盖掀起。

箱内，是一排排码放得整整齐齐的晶圆片盒。

每个片盒中，都静静叠放着二十五片8英寸空白光刻晶圆。

这个数量……

车间里，倒吸凉气的动静，密集得连成了一片。

“林总工……”

魏建成盯着那个大箱子，喉结滚了一下。

“你这是准备……批量测多少片？”

林渊先是从箱中取出一个片盒，动作从容地放入上料口，随即伸出一根手指，轻笑一声道。

“一百。”

一休悦读（原：阅读宝）偷接口死m


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