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第42章 土光刻机制成


拆装的主力最终还是落到卓邵文身上。

沈永健自己手上功夫不如对方稳,包括曹文三在内的两位平日在车间的技术员也一样。

卓邵文这位副研究员的确不止理论扎实,动手能力也是一流。

只不过这种精密仪器,尤其是这年代的老式精密仪器,完好的拆卸都不容易。

直到下午三点左右,显微镜才拆得差不多。

“今天就到这儿吧,明早再继续。”



“沈工,不继续安装么?”

卓邵文眼下声音倒是洪亮,只是双眼红血丝愈加多,而且都隐隐开始外凸。

沈永健虽然心中对这项目挺上心,但还没想要逼得这么紧。

“算了,今天就先到这儿。”

“绍文同志,我知道你能继续坚持,只是接下来的组装任务会更加艰巨,需要绝对集中的注意力。”

“你先回去养足精神,今天就先到这里。”

眼见沈永健态度坚决,卓邵文虽然心痒却也不好坚持。

直至车间的大门锁上,也只得回去休息。

曹文三和曲崇二人同样听他安排,安心早下班回去。

第二日一早,三人再度回车间后,状态立刻不一样了。

卓邵文脸色虽然憔悴,但双眼红血丝褪去大半,看着才正常得多。

至于曹文三两人年纪小,一夜睡足后精神头极佳。

开始正式组装起土法的“光刻机”。

这一过程,一连持续了三天。

事实上整个组装用了两天,最后一天全用来进行校准与调试。

也全靠了沈永健眼下极强的数学能力,哪怕拆装的动手能力不及卓邵文,但在设备的调校上,他对角度、距离、光路计算的精确把控,让这台“拼凑”出来的设备精度达到了理论设计的极限。

“这算成了吧!?沈工?”

随着卓邵文一声压抑着激动、带着微微颤抖的低呼,简易的紫外曝光灯亮起。

透过那精心倒置并调试过的显微镜物镜,在涂有临时调配光刻胶的多晶硅片上投射出清晰的图案边缘。

沈永健此刻心情也不由得激动,点了点头回应道。

“成了,初步研制是够用了。”

身前的这台由显微镜重新拆装后的“土光刻机”,虽然样子难看了些

整台机器零件颜色各异,但用是足够用了。

哪怕只是极其初步的验证,也标志着这台光刻机核心部分已搭建完成,具备了进行光刻实验的基础能力!

曹文三和曲崇瞪大了眼睛,他二人当下也松了口气。

事实上,这次设备的制造他二人只是打打下手,更多的就是学习而已。

此刻看着那在紫光灯下显现的细微光斑,虽然不甚理解其全部意义,但卓邵文的激动和沈永健脸上那抹终于舒展的、带着成就感的笑意,让他们明白,这应当是件了不起的大事。

经过反复确认使用效果,目前精度暂时勉强够用。

沈永健长舒了口气,连日紧绷的神经稍缓,拍了拍一旁卓邵文的肩膀。

“邵文同志,辛苦了!这第一步,咱们算是迈出去了!”

“后续等真正的硅晶圆制成后,还有场硬仗要打。”

卓邵文用力点头,眼镜片后的目光依旧紧紧盯着那光斑,心中的激动难以言喻。

要知道这可是光刻机,哪怕在沈永健眼中这机子还算不上真正的一代自制光刻机,但在卓邵文的视角下,这就是真正的第一代。

“沈工,硅晶圆制成还得多久?”



“应该也就这几天吧?硅单晶炉轧钢厂那边零件都已经打造好,这两天正在组装调试,我一会儿就过去。”

“不过正式研制也得是年后了,你在厂里的工作暂时就到这里,余下时间你自己安排就行。”

这种具体的科研工作进行起来,时间总是过得飞快。

眼下日子已经步入二月,距离过年也就四五天的时间。

沈永健等硅单晶炉制成后,也准备给自己歇个几天。

“沈工…我有个请求。”



“绍文同志,你有事直说就行,不用这么客气。”

将近一周的时间接触下来,卓邵文的性子他如今是越来越熟悉。

的确是那种让人省心的同志,尤其是作为团队的队员,眼里全是活,且许多事都不需要他提,对方主动便替他考虑到,帮他完成了。

对科研的态度也无比严肃和认真。

唯独一点,就是对他的态度过于严肃和敬重,有种将他当做老师一般对待。

他其实更想与对方像同事或者朋友一般相处。

“我能利用这几天…写一篇您这自制的这‘光刻机’论文么?”

“您放心,这文章署名还是沈工您的…”

不等卓邵文说完,沈永健便已应下。

不就是拿这机器的成果写篇论文么,多大的事。

“行啊!”

“不过你别把自己逼太紧了,文章要真写完了,别忘了把你自己名字也署上。”



“沈工,这不合适,我只是想替…替所里总结这个设备研制的思路…”



“邵文同志,你不用这样,这台光刻机的研制咱们四人是一个团队的。”

“文章署名自然有你的一份,要是有第三第四作者,你可以把他们俩也带上。”

沈永健本着一个团队人人有份的想法,并未多在意。

毕竟这年头国内连微电子领域都几乎是空白,唯有部分教授与研究员在艰难探索这个领域,109所已经是这个领域的国内领头羊,有他这设备参考也好。

这种自制的“土光刻机”文章要是发了,过个几十年倒是会被后人记上一笔,我国第一台光刻机研发等等…

至于眼下,能不能引起重视,他也说不好。

许多技术唯有等真正能应用之际,才会真正受到重视。

……

另一边,第三轧钢厂内。

硅单晶炉已在李工的重点关注下加急组装。

沈永健赶到厂里的时候,这台大设备已初见雏形。

蓝色的脚手架上,一个巨大的铁皮炉上头矗立着一根长管。

看着好似简单,实际这些炉子有许多关窍都很复杂,比如外头分布的进出水管,炉壁刻意留的观察窗。

毕竟要烧到1400℃,这炉子能打造出来几乎是这年头轧钢厂工人的智慧结晶。

“沈工,为了你这次的任务,我可是废了老大劲儿,把厂里计划外的特种钢材都调配给你了。”

开口的是李工身边的另一中年男子,身高不高,不过长相不差,浓眉大眼的国字脸。

此刻笑着凑近,与沈永健一脸亲近的交谈道。

“闵厂长,多谢了,要是日后有什么我能帮得上忙的,您尽管提。”



“哈哈,那倒不用日后,眼下就有个事想问问沈工你的意见。”


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