第145章 首芯诞生，打破垄断
第一百四十五章 首芯诞生，打破垄断
实验室里的欢呼还未平息，陈野的声音便沉稳地响起，瞬间让沸腾的氛围冷静了几分：
“大家先别激动，这才只是刚组装完成而已。”
他走到光刻机前，指尖拂过机身的冰冷。
随后目光扫过围拢的众人，语气理性而坚定：
“光刻机的核心价值，在于能否稳定生产出合格的芯片。“
“现在它能正常启动、参数达标，只是第一步。”
“接下来，我们要进行首芯量产测试，只有真正造出芯片，并且芯片性能符合标准，这台光刻机才算真正有用。”
话音落下，实验室里的欢呼渐渐消散，取而代之的是一种蓄势待发的凝重。
众人脸上的激动尚未褪去，眼底又多了几分对未知的期待与忐忑。
李院士率先点头附和：
“陈总说得对，组装完成只是基础，能产出合格芯片才是关键。“
“我们材料团队已经准备就绪，高纯度碳基材料随时可以投入使用。”
这时，设备厂商的项目负责人上前一步，语气笃定：
“设备调试团队也已到位！”
“我们已经对光刻机的各项核心模块做了最终校准，光源功率、光刻物镜焦距、工作台定位精度都已锁定在最佳参数，随时可以启动生产流程。”
陈野点头，深吸一口气：
“好，各团队各司其职，启动首芯生产程序！”
指令下达的瞬间，整个实验室立刻进入高度紧张的工作状态。
张磊带领的工艺团队迅速将高纯度碳基晶圆送入光刻机的进料口，晶圆在机械臂的精准操控下，缓缓进入光刻腔室。
秦峰则带领后勤保障团队在一旁严阵以待，仔细核对每一份耗材清单，确保显影液、蚀刻气体等关键物料供应充足且参数匹配。
几名年轻的研究员守在辅助设备旁，指尖悬在操作按钮上，随时准备响应主设备的协同指令，每个人的脸上都写满了专注，连呼吸都刻意放轻。
另一边，材料团队的研究员正实时监测碳基晶圆的温度与状态，手中的记录笔飞速在表单上记录数据，生怕错过任何一个细微变化。
设备调试组的工程师们则分散在光刻机的各个核心模块旁，双眼紧盯着仪表盘上的数值跳动，指尖搭在应急操控键上，随时准备处理可能出现的设备异常。
整个实验室里，每个人都各司其职，形成了一张紧密协作的工作网络。
苏晚晴站在陈野身边，目光紧紧盯着光刻机的监控屏幕，指尖不自觉地攥紧。
她虽然看不懂，但也明白这一步，不仅关乎启元医疗的未来，更关乎国内半导体产业的突破。
“光刻腔室密封完成，真空度达标。”
“光源系统启动，极紫外光波长稳定在7纳米，功率输出正常。”
“工作台定位完成，误差控制在0.13微米以内。”
“......”
监控屏幕上，各项数据不断跳动、反馈。
每一个指令的下达与执行都精准无误。
光刻机内部，极紫外光经光刻物镜聚焦后，形成一束极致精密的光束，如同上帝的刻刀，缓缓投射到碳基晶圆表面。
这是整个量产流程的核心环节——极紫外光刻。
极紫外光穿透预先制备好的光刻胶涂层，将芯片的电路图案精准地“印”在晶圆上。
此时光刻腔室内，由多层钼硅薄膜构成的反射镜组正精准调控光束路径，将发散的极紫外光多次反射、聚焦，最终压缩成直径仅数微米的光斑。
晶圆台则以压电陶瓷驱动的纳米级位移精度，带动晶圆做步进扫描运动，每一步位移误差均控制在亚纳米级，确保相邻曝光区域的无缝拼接。
光刻胶在极紫外光的光子轰击下，分子键发生断裂，形成可被显影液溶解的潜影，而未曝光区域则保持稳定，为后续的图形转移筑牢基础。
屏幕上，实时成像画面清晰地显示出，电路图案的边缘光滑整齐，没有丝毫模糊或畸变。
工作台以纳米级的精度缓慢移动，光束随之同步扫描，每一个像素级的细节都被精准复刻。
“光刻环节完成，开始显影、蚀刻。”
张磊的声音带着一丝不易察觉的颤抖，眼睛死死盯着屏幕。
晶圆从光刻腔室送出，进入后续的显影槽。
经过显影液的浸泡，未被曝光的光刻胶被溶解，印有电路图案的晶圆表面清晰显现。
随后，晶圆被送入蚀刻机，等离子体蚀刻技术精准地“雕刻”出电路沟槽。
再经过镀膜、抛光等一系列精密工序，碳基晶圆上的电路图案逐渐立体、成型。
整个过程持续了整整半个小时。
在这段时间里，实验室里鸦雀无声，只有设备运行的轻微嗡鸣和团队成员偶尔的指令交流。
每个人的目光都紧紧锁定在监控屏幕和光刻机的出料口，时间仿佛被无限拉长，每一分每一秒都充满了煎熬与期待。
“滴——”
清脆的提示音打破了实验室的寂静。
首枚碳基脑机芯片，终于完成了全部生产流程，从光刻机的出料口缓缓送出。
机械臂小心翼翼地将芯片放置在检测平台上，张磊快步上前，戴上专业的检测手套，拿起芯片放在超高倍显微镜下。
所有人都不约而同地围了过去，目光聚焦在显微镜的显示屏上。
显示屏上，芯片的电路纹路清晰如发，每一条线路都精准无误，没有任何短路、断路的缺陷。
张磊操作检测仪器，对芯片的性能参数进行测试：
“芯片主频：2.1GHz；功耗：25W；数据传输速率：15Gbps......”
“这与我们脑机接口所有参数设定完全一致，甚至还略微超过了我们最初的预设标准！”
“哗——”
这一次，实验室里的欢呼再也无法抑制，如同火山喷发般汹涌而出。
张磊猛地摘下手套，转身抱住身边的同事，声音哽咽：
“成了！我们真的造出芯片了！”
李院士颤抖着走上前，从检测平台上拿起那枚小小的芯片。
芯片通体呈镜面，在灯光下泛着柔和的光泽，重量轻得几乎可以忽略，却仿佛承载着千钧之重。
他将芯片捧在手心，手指微微颤抖，泪水顺着布满皱纹的脸颊滑落：
“多少年了......我们被国外垄断了多少年啊！”
“从光刻机到芯片，处处被卡脖子，处处看人脸色。”
“今天，我们终于有了自己的光刻机，造出了自己的芯片！再也不用受那些窝囊气了！”
他的话，瞬间戳中了所有人的泪点。
在场的每一个人，几乎都经历过被国外技术封锁的绝望时刻。
为了引进一台普通的半导体设备，不惜花费天价。
为了获取一份基础的技术参数，反复求人却遭冷眼。
为了攻克一个技术难点，熬干了心血却收效甚微......
那些屈辱、那些不甘、那些日夜煎熬的日子，在这一刻，都随着这枚芯片的诞生烟消云散。
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